Kode Matakuliah : PAP332

Jumlah SKS : 3

Prasyarat : PAP231*

Sinopsis

Dalam kuliah dibahas termodinamika dan kinetika pembentukan lapisan tipis, dasar dan komponen vakum, metoda deposisi secara fisik (PVD) maupun secara kimia (CVD), penyiapan substrat, dan cara karakterisasi lapisan tipis.

Buku Acuan:

1. Ohring, M., The Materials Science of Thin Films,New York, John Wiley & Sons, 1992.
2. Vossen, J. L, W. Kern, Thin Film Processes II, Boston, Academic Press, 1991.
3. Smith, D. L., Thin-Film Deposition – Principles & Practice, New York, McGrawHill,1995.